Springer和Ahmed鈦合金三步拋光技術(shù):
1)磨平,使用320grit砂紙水冷,磨制2~3分鐘,去除切割產(chǎn)生的損傷層,并使樣品表面平坦。使用320gritSiC砂紙,水冷,轉(zhuǎn)速240RPM,同向轉(zhuǎn)動(dòng)*,壓力:27N(6lbs)/每個(gè)樣品,直到樣品磨平為止。
注:去除切割損傷層是打磨的基礎(chǔ)任務(wù),如果去除不凈,直接后果是觀察到的現(xiàn)象可能為假象。
2)粗拋光,把9μm的metaDI?金剛石拋光膏預(yù)先涂抹在帶孔的TEXMET?拋光布上,使用蒸餾水做為冷卻潤(rùn)滑劑,拋光10~15分鐘。粗拋光過(guò)程:9μmmetaDI金剛石拋光液+metaDI拋光潤(rùn)滑劑,使用ULTRA-PAD?拋光表面,轉(zhuǎn)速120RPM,反向轉(zhuǎn)動(dòng)**,壓力:27N(6lbs)/每個(gè)樣品,時(shí)間10min。
3)最終拋光,使用MICROCLOTH?或者M(jìn)ASTERTEX?拋光布,添加MASTERMET?二氧化硅懸浮拋光液,拋光10~15分鐘。最終拋光過(guò)程:在MICROCLOTH拋光表面上,使用MASTERMET二氧化硅拋光液,轉(zhuǎn)速120RPM,反向轉(zhuǎn)動(dòng),壓力:27N(6lbs)/每個(gè)樣品,時(shí)間10min。
注:在拋光過(guò)程中,樣品需要定時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)方向,大多數(shù)金屬合金中存在硬質(zhì)相,如果不轉(zhuǎn)動(dòng)方向,拋光的樣品在硬質(zhì)相上會(huì)有黑色的“長(zhǎng)尾巴”,影響金相質(zhì)量,解決“長(zhǎng)尾巴”問(wèn)題的關(guān)鍵在于轉(zhuǎn)動(dòng)樣品的方向。每次可以轉(zhuǎn)90度或180度。